TMAH显影液EPD系列是永光化学(Everlight Chemical)专为正型光刻胶设计的高纯有机碱显影液。其有效成分为四甲基氢氧化铵(Tetramethylammonium Hydroxide, TMAH),广泛应用于半导体、封装及显示面板等产业的黄光制程中。该系列的核心优势在于不含金属离子,能有效避免对精密电路造成离子污染,从而保障产品的良率与可靠性。
TMAH显影液EPD系列是永光化学(Everlight Chemical)专为正型光刻胶设计的高纯有机碱显影液。其有效成分为四甲基氢氧化铵(Tetramethylammonium Hydroxide, TMAH),广泛应用于半导体、封装及显示面板等产业的黄光制程中。该系列的核心优势在于不含金属离子,能有效避免对精密电路造成离子污染,从而保障产品的良率与可靠性。
.EPD
Property:
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应用领域:
1.半导体先进封装(封测):EPD 56等型号针对金凸块、铜柱及重布线层等2.5D/3D先进封装工艺设计,是芯片堆叠技术的关键耗材之一。
2.晶圆制造(前道):广泛应用于8吋、12吋晶圆厂的黄光制程,为逻辑芯片、存储芯片制造中的关键光刻步骤提供高纯度显影。
3.面板显示(FPD):可用于TFT-LCD和OLED面板制造中的正型光阻剂显影制程,提升显示面板的色彩表现。
4.分立器件与LED:适用于各类功率半导体器件和LED芯片的图形化工艺。