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安光企业集团，深耕光刻胶与显影液研发生产，匠心打造优质电子材料，赋能半导体产业高质量发展。
安光企业集团，深耕光刻胶与显影液研发生产，匠心打造优质电子材料，赋能半导体产业高质量发展。
PSS光刻胶是一种专用光刻材料，是制造PSS晶圆的关键原料。它在PSS的标准化生产流程中扮演着刻蚀掩模的核心角色：首先被均匀涂布在蓝宝石平片上；随后通过光刻机曝光、显影，将掩模版上的周期性图形（如圆锥、圆柱、光栅等）精准转移至胶层上；接着，在高温烘烤（坚膜）后，这些已图形化的胶层在ICP干法刻蚀工序中抵抗刻蚀气体；最终，蓝宝石上未被胶层保护的区域被刻蚀形成所需图形，而光刻胶掩模层随后被去除，得到可用于外延生长的PSS成品。此外，使用PSS作为磊晶基板，可大幅提升LED的发光效率。
PSS光刻胶是一种专用光刻材料，是制造PSS晶圆的关键原料。它在PSS的标准化生产流程中扮演着刻蚀掩模的核心角色：首先被均匀涂布在蓝宝石平片上；随后通过光刻机曝光、显影，将掩模版上的周期性图形（如圆锥、圆柱、光栅等）精准转移至胶层上；接着，在高温烘烤（坚膜）后，这些已图形化的胶层在ICP干法刻蚀工序中抵抗刻蚀气体；最终，蓝宝石上未被胶层保护的区域被刻蚀形成所需图形，而光刻胶掩模层随后被去除，得到可用于外延生长的PSS成品。此外，使用PSS作为磊晶基板，可大幅提升LED的发光效率。
EPI 612
Resist Film Thickness:1.5~4.5um
Property:
1.
2.
3.
应用领域：
1.LED照明：应用于传统蓝绿光LED、高亮度照明及深紫外LED等照明领域。PSS技术可有效提升LED的出光效率和寿命，是蓝宝石衬底图形化的核心手段。
2.显示应用：用于Mini/Micro LED、背光显示及RGB直显等领域，随着Mini/Micro LED产业化进程加速，对高性能PSS光刻胶的需求持续增长。
3.汽车电子：应用于汽车照明及车载显示场景，需求伴随新能源汽车与车载显示技术的渗透同步增长。
4.氮化镓（GaN）功率器件：PSS技术可应用于下一代高效GaN功率器件的衬底图形化，为功率半导体领域提供新的增长空间。
